沈陽全力打造中國集成電路裝備產業“芯”高地

本報訊(沈陽日報、沈報全媒體記者黃超)今年以來，沈陽集成電路(IC裝備)產業喜報頻傳，繼4月20日沈陽拓荊科技在上海證交所科創板發行上市之后，5月5日，沈陽富創精密設備有限公司科創板首發順利過會。這標志著沈陽IC裝備產業“上市軍團”持續壯大，產業抱團發展形勢良好。

作為國內IC裝備產業的三大重點地區之一，沈陽IC裝備產業經過多年發展，已初具規模和實力，集聚和培育出了一批優勢骨干企業，在薄膜沉積、涂膠顯影、濕法刻蝕、清洗機等整機裝備和羅茨干泵、真空機械手等關鍵單元部件產品等方面形成了獨具特色的產業配套體系和批量生產能力，產品種類覆蓋沉積、光刻、刻蝕、封裝多個工藝領域。

“十三五”期間，沈陽IC裝備產業實現連續五年穩定快速增長，年均增長率達到10.1%。產業已經度過“孵化期”，進入快速產業化階段，沈陽IC裝備產業已經形成了“一項控制系統技術、八類重要整機裝備、一批關鍵單元部件和一個精密零部件支撐平臺”的配套體系和批量生產能力。

“相比其他城市，沈陽集成電路產業的鏈條比較完整?！笔泄ば啪窒嚓P負責人指出，沈陽IC裝備產業鏈上游擁有富創、新松、中科儀、硅基、中科博微等企業，能夠供應反應腔、真空干泵、機械手、控制軟件、SOI材料等零部件和控制系統；產業鏈中游為整機裝備制造商。擁有芯源微、拓荊、儀表院等企業，可以進行薄膜設備、涂膠顯影機、劃片機等IC整機制造和系統集成；產業鏈下游擁有中電科第47所和儀表院等企業，從事集成電路制造和封測。

經過多年培育，沈陽集成電路產業規模逐步壯大、產業類型日漸豐富。年初以來，受國際形勢影響，國內半導體產業鏈迎來黃金發展期，國產替代市場空間巨大，行業景氣度持續向好。沈陽集成電路裝備企業積極把握市場機遇，持續加大研發投入、加大市場開拓力度，企業生產經營穩定向好。據市工信局統計，今年1-3月份，沈陽集成電路產業完成產值12億元，同比增長48%，行業發展進入“快車道”。

當前，鎖定“創新”和“產業”的沈陽，正在搶抓新一輪發展機遇，聚力創“芯”、聚勢發展，加快集成電路產業延鏈補鏈強鏈，全力打造中國集成電路裝備產業“芯”高地。

“發展集成電路裝備產業投入雖大，但發展后勁足，產業先天具有韌性強等特點，將為正處于轉型期的沈陽帶來源源不斷的新動能。”市工信局相關負責人表示，決勝“芯”時代，沈陽將不遺余力提供最專業的載體支撐、最完備的要素保障、最優質的營商環境，推動企業攜手科研界深化合作、協同創新，共同“破冰”關鍵核心技術，攜手開拓更多“針尖”領域，推動沈陽IC裝備產業發展闖出一條強“芯”之路。

關鍵詞： 中國集成電路