來源:大半導體產業網
2022年6月10日,沈陽芯源12寸KrF涂膠顯影設備順利入駐廈門士蘭集科。作為士蘭集科引入的首臺國產高產能KrF涂膠顯影機臺,沈陽芯源產品獲得了客戶的高度重視和充分認可,士蘭集科總經理黃軍華、副總經理李文深、相關技術和商務代表,沈陽芯源公司董事長兼總裁宗潤福、前道設計總監程虎、市場總監王星園以及現場服務代表出席了搬入儀式。
【資料圖】
此次沈陽芯源公司12寸高產能KrF涂膠顯影量產機臺的順利交付,將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務,為士蘭集科后續高端產品穩定量產、產線升級擴產提供更為安全的供應鏈保障。同時,士蘭集科作為中國大陸12寸晶圓特種工藝產線的領導者,也為集成電路高端設備國產化替代提供了優秀的平臺和機遇。
搬入儀式完成后,雙方進行了深入友好的商務交流,沈陽芯源與士蘭集科簽署了戰略合作協議。本次戰略合作的達成,既是對過往雙方成功合作的肯定,也是對未來深入合作的無限期許,雙方也將繼續攜手前行,協同發展,同“芯”聚力,共創輝煌!
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