據報道，總部位于英國劍橋的MEMS初創公司Silicon Microgravity(SMG)近日宣布完成其第一階段180萬英鎊融資，以助其MEMS技術實現商業化,融資資金來自英國創新與科學種子基金(UKI2S)、牛津創新EIS成長基金、牛津創新金融天使網絡(OION)以及國防與安全加速器(DASA)。

Silicon Microgravity

Silicon Microgravity的諧振式MEMS技術源自劍橋大學納米科學中心的十多年研究成果,Silicon Microgravity背后發表的多篇重要論文證明了其正處于這一領域的發展前沿,Silicon Microgravity擁有不斷增長的MEMS知識產權組合，目前已經獲得了20多項專利授權。

【資料圖】

大動態范圍、低噪聲MEMS加速度計

Silicon Microgravity的大動態范圍MEMS加速度計經過擴展能夠滿足動態范圍>25g、本底噪聲<5μg/rt-Hz、偏置不穩定性<1μg的戰術和導航級應用。其傳感原理類似MEMS重力儀，即跟蹤機械連接檢測質量的一對微機械振動梁中的差分諧振頻率偏移,經過調節的差分頻率輸出被數字化，以便與其它MEMS傳感器集成應用，開發緊湊的慣性測量單元(IMU)。Silicon Microgravity的MEMS加速度計適用于寬溫度范圍、高沖擊和振動的工作環境。

高性能MEMS陀螺儀

基于類似的諧振原理，Silicon Microgravity開發了一種高性能MEMS陀螺儀，具有相當的性能精度和小型化優勢，旨在實現當前MEMS技術無法解決的慣性導航應用，與傳統陀螺儀相比，該技術在尺寸、成本、功耗和尺寸方面有潛力大幅改善。這種陀螺儀可以提高MEMS重力傳感器的性能(通過實現高度精確的定位)，但更值得關注的是，這項技術在慣性導航(例如行人或汽車導航系統)、制導和穩定，以及許多商業、工業和軍事智能系統的引導方面有著更廣泛的應用。

慣性導航

長期以來，市場一直需要更小、更準確、成本更低的慣性導航系統。MEMS技術已經在消費級和汽車級系統中實現了應用，但一直難以實現戰術級和導航級應用所需要的性能。Silicon Microgravity正在開發一款導航級MEMS IMU，其尺寸將小于火柴盒，成本將遠低于現有產品。隨著業界對精確定位的要求越來越高，這將使Silicon Microgravity成為運動和定位市場的關鍵賦能者。

(來源：麥姆斯咨詢)

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