在沈陽市渾南區飛云路，一片外表樸實的廠房卻承載著為中國“芯”顯影的重大使命。成立于2002年的沈陽芯源微電子設備有限公司(下簡稱:沈陽芯源)，其產品在勻膠顯影技術領域達到國際先進水平。

沈陽芯源作為首批國家專精特新“小巨人”企業，深耕半導體設備細分賽道，2021年實現營業收入8.29億元，同比增長152%；2022年以來生產未受到新冠疫情的影響，訂單持續增長。

緊鄰沈陽芯源還有一家外表并不顯眼的企業，當我們走進生產車間，映入眼簾的是一排排世界頂級的精密機床，正在納米尺度上精雕細刻件件產品。這里的清潔度達萬級，這里的加工精度以納米為單位。這家名為沈陽富創精密設備有限公司(下簡稱：沈陽富創)的神秘企業，是IC裝備精密零部件加工冠軍型企業。

目前集成電路的線寬只有人們頭發的十萬分之一，這樣精微的要求，幾乎達到了機械制造的極限，沈陽富創潛心多年研發加工工藝，終于敲開了世界IC裝備制造業的大門。

類似沈陽芯源、沈陽富創等企業，雖然體量不大，但卻人員精干，在專項領域打破了國外對中國集成電路產業的技術封鎖。在業內人士看來，這些專精特新型“小巨人”企業的聚集，充分發揮了自主創新、高質量發展的示范作用。

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